品牌 | 其他品牌 | 流動方向 | 單向 |
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3C閥門類別 | 工業 | 應用領域 | 能源,電子,汽車,電氣,綜合 |
瑞士VAT閥02.4 大型傳輸閥與MONOVAT
02.4 大型傳輸閥與MONOVAT旨在滿足高真空條件下有機材料蒸汽沉積系統的特殊要求。02.4 系列專為高循環生產系統設計,結合了出色的操作速度和對流程相關沉積物(會限制標準閥性能)的抗性。按照設計,在進行建議維護檢查前,02.4 系列可不間斷地執行 100 萬次開關。
較長的正常運行時間和可靠的性能是 02.4 系列的品質證明,維護要求已達到低水平。02.4 系列使用的 MONOVAT 特殊密封技術使閥板的開啟和關閉動作無沖擊,大程度地減少粒子產生和密封磨損。此外,該閥門的密封機構采用緊湊設計,因此整個閥體十分小巧,可實現較小的安裝尺寸。
02.4 系列已在全球各種工藝條件下的數百個顯示器和光伏生產系統中運行,從各個方面證明了其性能。
與所有 VAT 傳輸閥解決方案一樣,02.4 大型傳輸閥與MONOVAT專為特定客戶規格定制。這些定制元件包括脈沖驅動用電磁閥、特殊表面處理(如硬質陽極氧化鋁或鍍鎳鋁等)、其他密封材料、閥板接地等。
特點:
設計緊湊,安裝尺寸小
閥板運動無沖擊
對流程相關沉積物有抗性
優勢:
運行成本低
循環周期短
正常運行時間長,維護少
瑞士VAT閥02.4 大型傳輸閥與MONOVAT
尺寸 | 標準:50 × 500 mm 至 150 × 1600 mm (1.97" × 19.69" 至 5.91" × 62.99") 可根據要求提供特殊尺寸 | |
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驅動器 | 氣動 | 雙作用 |
閥體材料 | 鋁 | |
饋通件 | 帶有中間層泵口的軸饋通件 | |
泄漏率 | 閥體、閥座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
閥板可承受壓差 | 關閉/開啟方向 | ≤ 1 bar |
打開時可承受壓差 | ≤ 5 mbar | |
首維護前開關次數 | 100 萬次 | |
關閉或打開時間 | ≤?1.5 秒(開口高度為 100 mm 時) | |
溫度 | 閥體、閥板 驅動器、位置指示器 | ≤ 120°C ≤ 60°C |
閥體/閥板溫差 | 小尺寸 大尺寸 | ≤ 40°C ≤ 25°C |
材料 | 閥體、閥板 驅動器軸 抗壓差擋塊 | EN AW-5083 (3.3547) AISI 304 (1.4301) 鍍硬鉻 AISI 304 (1.4301) |
密封 | 閥板、法蘭、饋通件 | 氟橡膠 |
安裝位置 | 驅動器可向上、向下或側面安裝 | |
位置指示器 | 電壓 | 10–30?VDC PNP(可選 NPN) |